压力传感器堆芯试验循环用自动氦泄漏试验设备

压力传感器芯1.0E-8Pa.m3/sec自动氦泄漏测试设备

HongCe设计并制造了压力传感器芯氦检漏系统，检漏精度高达1.0E-8Pa.m3/sec，测试周期为10s/pc，最高可达5s/pc。该测试系统有两个测试站，每个工作站可同时测试2个工件，通过智能化和人性化系统，将给出判断结果：严重泄漏、轻微泄漏，OK。除自动检漏功能外，还具有生产统计功能。高精度、易操作和快速测试使我们的氦泄漏测试系统被压力传感器芯制造商广泛采用。

技术规格：

工件	压力传感器芯
示踪气体	氦
指示泄漏的氦气压力	50KPa（可调节至更低）
拒绝点	1.0E-8Pa.m3/sec
试验循环	10s/件（含装卸时间）
试验站	2（每个测试站可以同时测试2个工件）

基本工作原则：

根据氦气检漏的基本原理，工件通过夹具分为两个单独的密封腔：充氦腔和检漏腔，用氦气作为示踪气体，将氦气充入氦气腔，然后通过氦气检漏仪检测氦气信号内的泄漏，能快速准确地确定工件的泄漏精度。

测试过程:

1.加载工件；

手动加载每个工作站中的工件

2.总泄漏检测；

测试系统将自动判断总泄漏结果，如果总泄漏，报警灯亮，相关工件的测试过程将停止，操作员需要手动取出相关工件并更换新工件。如果没有严重泄漏，测试系统将自动进行下一个过程。

3.充入氦并检测细微泄漏;

Systell将根据需要自动注入氦气，并检测细微泄漏，给出OK或NOK测试结果。

4.卸载工件；

手动卸载工件。

5.其他自动化流程。

过程监控

工件压力传感器芯