Attrezzatura automatica 9.0E-11Pa.m3/sec di prova di tenuta dell'elio della camera di vuoto di alta precisione

Attrezzatura automatica 9.0E-11Pa.m3/sec di prova di tenuta dell'elio della camera di vuoto di alta precisione

Questa attrezzatura di prova di tenuta dell'elio è abbastanza unica, l'accuratezza di rilevazione di perdita può fino a 9.0E-11Pa.m3/sec, adatto a prodotti che ha requisiti rigorosi del precisio.

Technicial Paramaeters:

Pezzo in lavorazione	Prodotti di alta precisione
Accuratezza di rilevazione di perdita	9.0e-11pa.m3/sec.
Gas tracciante	Elio
数量della摄像头di vuoto	1 (può essere personalizzato)

Rilevazione di perdita dell'elio Discription:

A. l'peratore distone il pezzo in lavorazione inzuppato in una camera di vuoto，Manualmente chiude la porta della camera di vuoto e preme preme il persante di avvio;

B. La camera vacuumed automaticamente, pezzo in lavorazione che la perdita lorda è individuata vicino la misurazione della somma totale di aria nella fase dell'evacuazione della camera di vuoto: se c'è perdita lorda, l'allarme sarà ceduto; se non c'è perdita lorda, il processo seguente sarà continuato;

C. la camera di vuoto vacuumed al grado dell'insieme;

D. il segnale dell'elio nella camera di vuoto sarà individuato automaticamente;

E. Multi la Perdita del Pezzo在Lavorazione AutomaticmentesaràDestricinato中：

Se il rivelatore di perdita trova che c'è un segnale dell'elio che supera il valore stabilito nella camera di vuoto, indica che il pezzo in lavorazione ha una perdita fine e l'indicatore luminoso fine di perdita sull'interfaccia dell'operazione è sopra. L'operatore preme il bottone di conferma sul pannello dell'operazione, la porta della camera è aperto automaticamente, il pezzo in lavorazione è scaricato, pezzo in lavorazione è disposto nell'area incompetente;

Se Il rivelatore di perdita che un segnale dell'elio supera s supera il al valore stabilito nella camera di vuoto，indiona che il pezzo in lavorazione ha superato ha superato la prova la prova di tenuta di tenuta di tenuta di tenuta di tenuta fin，Porta della Cameraèaperta Manualmente，Il pezzo，inLavorazioneèdarafazionesarcicato ed il pezzo inLavorazioneèdempostonell'area precialatifificata。

Questa attrezzatura adotta il pulsometro senza olio di INFICON per escludere la contaminazione del disgiunto di si separa il vapore dell'olio.

Caratteristiche tecniche:

Il Nostro Sistema adotta la tecnologia di Automazione di Processi，Combina l'Attrezzatura trattata con la tecnologia elettrica di Controllo自动变形。Lavorazioneè控制的L'Intero Intero Processo di Rilevazione del Pezzo自动dallo spa e dal触摸屏，L'pericatore deve soltanto caricare e scaricare e scaricare e scaricare e lavoraziee in lavoraziee，nessun giudizio udano umano umano umano umanodiesto per ogni per ogni per ogni per ogni per ogni per ogni per ogni per ogni per ogni per ogni per ogni per ogni per。Il programma dello SpA giudica automaticamente il risultato del punto precedente e completa l'esecuzione del punto seguente secondo gli stati di preregolamento, quello sostituisce il giudizio umano e l'esecuzione, fa l'operatore liberato da potenza della mente complicata per lavorare.

il sistemaèfornito di calibro标准della perdita dell'el'elio di 1.0x10-11pa.m3/sec。I Certifati ofstuntii saranno emessi dall'istituto nazionale della della cina della metrologia。l'ecudatezza e la lastabilitàdell'attrezzura psono essono essere rintraciate di nuovo all'istituto nazionale della della della della cina della della metrologia。Assicuri il calibro della perdita nel sistema applovato da di terzi。