عاليةالدقةفراغالتلقائيغرفةهيليومتسرباختبارالمعداe-11paت9.0。立方米/ثانية

عاليةالدقةفراغالتلقائيغرفةهيليومتسرباختبارالمعداe-11paت9.0。立方米/ثانية

هذهمعداتاختبارتسربالهيليومفريدةمننوعها،يمكنأنتصلدقةالكشفعنالتسربإلe-11paى9.0。立方米/秒،وهيمناسبةللمنتجاتالتيلديهامتطلباتصارمةعلىprecisio。

المعاييرالفنية:

الشغل	منتجاتعاليةالدقة
دقةكشفالتسرب	9.0 e-11pa。立方米/ثانية.
الراسمالغاز	الهيليوم
فراغالغرفةالكمية	1(يمكنتخصيص)

الكشف عن تسرب الهيليوم

答:يضعالمشغلقطعةالعملالمبللةفيحجرةالتفريغ،ويغلقبابحجرةالتفريغيدويًاويضغطعلىزرالبدء؛

ب。يتمتفريغالحجرةأوتوماتيكيًا،يتمالكشفعنتسربإجماليلقطعةالشغلعنطريققياسإجماليكميةالهواءأثناءعمليةإخلاءغرفةالتفريغ:إذاكانهناكتسربإجمالي،فسيتمإرسالإنذار؛إذالميكنهناكأيتسربإجمالي،فسيتممتابعةالعمليةالتالية؛

يتم تفريغ فراغ الغرفة إلى درجة مجموعة。

سيتمالكشفعنإشارةالهليومفيغرفةالتفريغتلقائيًا؛

سيتم تحديد تسرب e . غرامة من الشغل تلقائيا:

إذاوجدكاشفالتسربأنهناكإشارةهيليومتتجاوزالقيمةالمحددةفيحجرةالتفريغ،فإنهاتشيرإلىأنقطعةالشغللهاتسربجيد،وأنضوءمؤشرالتسربالدقيقعلىواجهةالتشغيلقيدالتشغيل。يقومالمشغلبالضغطعلىزرالتأكيدعلىلوحةالتشغيل،ويتمفتحبابالغرفةتلقائيًا،ويتمتفريغقطعةالعمل،ويتموضعقطعةالعملفيمنطقةغيرمؤهلة؛

إذالميعثركاشفالتسربعلىإشارةهيليومتتجاوزالقيمةالمحددةفيحجرةالتفريغ،فإنهيشيرإلىأنقطعةالشغلقداجتازتاختبارالتسربالدقيق،والمؤشرالمؤهلعلىواجهةالتشغيلقيدالتشغيل،ويتمفتحبابالغرفةيدويًا،ويكونقطعةالشغليتمإلغاءتحميله،ويتموضعقطعةالعملفيالمنطقةالمؤهلة。

تعتمدهذهالمعداتمضخةفراغINFICONالخاليةمنالزيتلاستبعادتلوثالأجزاءالمسربةببخارالزيت。

الخصائصالتقنية:

يعتمدنظامناعلىتقنيةأتمتةالعمليات،ويجمعبينمعداتالعملياتوتكنولوجياالتحكمالأوتوماتيكيةالكهربائية。يتمالتحكمفيعمليةكشفالشغلبالكاملتلقائيًابواسطةPLCوالشاشةالتيتعملباللمس،يحتاجالمشغلفقطإلىتحميلوتفريغقطعةالشغل،ولايتطلبأيحكمإنسانيلكلعملية。يحكمبرنامجPLCتلقائيًانتيجةالخطوةالسابقةويكملتنفيذالخطوةالتاليةوفقًاللشروطالمحددةمسبقًا،والتيتحلمحلالحكموالتنفيذالإنساني،ممايجعلالمشغليتحررمنأعمالقوةالدماغالمعقدة。

وقدتمتجهيزالنظامبمقياسقياسيلامتصاصالهليوميبلغ1.0 x10^-11年Pa。立方米/秒。سيتمإصدارالشهاداتذاتالصلةمنقبلالمعهدالوطنيالصينيللمقاييس。يمكنإرجاعدقةواستقرارالمعداتإلىالمعهدالوطنيالصينيللمقاييس。ضمانقياسالتسربفيالنظامالمعتمدمنقبلطرفثالث。